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福建日报·新福建客户端12月23日讯(记者 廖丽萍)近日,厦门火炬高新区企业瀚天天成依托研发团队的自主技术攻坚,成功开发出全球首款 12 英寸高质量碳化硅外延晶片。这一突破不仅能显著提高下游功率器件的生产效率,更将大幅降低碳化硅芯片的单位制造成本,为碳化硅产业规模化、低成本应用奠定关键基础。
第三代半导体碳化硅比第一代硅半导体拥有更优的高频、高压、高温能力,能够实现系统更低的能耗、更小的体积和重量,被广泛应用于新能源汽车、光伏发电、AI电源、轨道交通、智能电网及航空航天等领域。相较于当前主流的150mm(6英寸)碳化硅外延晶片,以及尚处产业化推进阶段的200mm(8英寸)产品,300mm(12英寸)晶片凭借直径的显著扩容,在相同生产工序下,单片可承载的芯片(器件)数量实现大幅提升——较6英寸晶片提升至4.4倍,较8英寸晶片提升至2.3倍。
目前,瀚天天成已启动 12 英寸碳化硅外延晶片的批量供应筹备工作。产品在关键性能指标上表现优异:外延层厚度不均匀性控制在3%以内,掺杂浓度不均匀性≤8%,2mm×2mm芯片良率大于96%,可充分满足下游功率器件领域的高可靠性应用需求。
据悉,瀚天天成是中国首家实现商业化3英寸、4英寸、6英寸碳化硅外延晶片批量供应的生产商。2023年5月成为大中华区首家突破8英寸碳化硅外延晶片技术的生产商,2024年成为全球唯一实现8英寸碳化硅外延晶片批量销售的企业。根据灼识咨询研报,公司2023年已成为全球最大规模的碳化硅外延晶片供应商,2024年全球市场份额超过31%。